クリーンルームの基本原則
1.持ち込まない
- 室内が周囲よりも高い気圧であること
- フィルターの捕集率が高く漏れがない
- 持ち込む機器・材料の清浄化
- 作業者の適切な更衣
- 不要品の持ち込み禁止
2.発生させない
- 適切な防じん服の着用
- 無駄な動きをなくす
- 装置・機器の発じん対策
3.堆積させない
- ゴミを滞留させない気流対策
- 清掃しにくいコーナーを作らない
- 基準に従った清掃の実施
4.排除する
- ゴミを滞留させない気流対策
- 換気回数を多くする
- 発じん部近くで排気をする
- 持ち込む機器・材料の清浄化
クリーンルームの規格（清浄度クラス）
現在、日本で一般的に使用されている清浄度クラス表示は必ずしも統一されていません。
式ごとに基準となる体積や粒子径が違うために注意する必要があります。代表的なものは次の3つです。
●JIS方式
JIS B 9920の清浄度クラスの表示で1m3中の0.1μm以上の粒子数を10のべき乗で表したときの指数で表します。
（表示：クラス1～8）
●FED-STD-209D（米国連邦規格、1988年）
単位は英国単位（FS単位）。0.5μm以上の粒子を基準とし、1Ft3中の粒子数を表示します。実際には未だに一番良く使われています。1992年にSI単位の209Eが制定されましたが、普及しないまま2001年に廃止となっています。
●ISO方式
日米欧を中心に初の世界統一規格として作成が進められています。
ISO 14644-1「空気清浄度のクラス分け」
ISOクラス表示では、基準粒子径は0.1μm、基準体積は1m3で、JIS方式が取り入れられています。
ただしクラスは1～9までです。
各規格の対応表
| ISO14644-1 | JIS B 9920 | Fed-Std- | 個 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 209E | 209D | 0.1μm/m3 | 0.5μm/m3 | ||
| ISO Class 1 | クラス1 | - | - | 10 | |
| ISO Class 2 | クラス2 | 100 | 4 | ||
| M1 | 350 | 10 | |||
| ISO Class 3 | クラス3 | M1.5 | クラス1 | 1000 | 35 |
| M2 | 3500 | 100 | |||
| ISO Class 4 | クラス4 | M2.5 | クラス10 | 10000 | 352 |
| M3 | 35000 | 1000 | |||
| ISO Class 5 | クラス5 | M3.5 | クラス100 | 100000 | 3520 |
| M4 | 10000 | ||||
| ISO Class 6 | クラス6 | M4.5 | クラス1000 | 1000000 | 35200 |
| M5 | 100000 | ||||
| ISO Class 7 | クラス7 | M5.5 | クラス10000 | 352000 | |
| M6 | 1000000 | ||||
| ISO Class 8 | クラス8 | M6.5 | クラス100000 | 3520000 | |
| M7 | 10000000 | ||||
| ISO Class 9 | - | - | - | 35200000 | |
ココミテvol.2より転載